久久久久99精品成人片试看,chinese国产人妖ts,麻豆国产av超爽剧情系列,国语熟妇乱人乱a片久久

咨詢熱線

18611639868

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  臺(tái)式電鏡SEM在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

臺(tái)式電鏡SEM在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

更新時(shí)間:2021-09-24      點(diǎn)擊次數(shù):1837
  臺(tái)式電鏡SEM可以對器件的尺寸和一些重要的物理參數(shù)進(jìn)行分析,如結(jié)深、耗盡層寬度少子壽命、擴(kuò)散長度等等,也就是對器件的設(shè)計(jì)、工藝進(jìn)行修改和調(diào)整。臺(tái)式掃描電鏡二次電子像可以分析器件的表面形貌,結(jié)合縱向剖面解剖和腐蝕,可以確定PN結(jié)的位置、結(jié)的深度。利用臺(tái)式掃描電鏡束感生電流工作模式,可以得到器件結(jié)深、耗盡層寬度、MOS管溝道長度,還能測量擴(kuò)散長度、少子壽命等物理參數(shù)。對于1nm以下的短溝道器件檢測,可用類似于測量耗盡層寬度的方法,電子束對MOS場效應(yīng)管進(jìn)行掃描,得到二條束感生電流曲線,就可得知此場效應(yīng)管的溝道長度。
  由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機(jī)械性能好.因而適用的范閘廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般在半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過程巾包括了切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列工廳,~正是在這些過程巾,會(huì)造成表面的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化,所以幾乎每一個(gè)步驟都需要對擴(kuò)散進(jìn)行檢測.深度進(jìn)行測繭或者直接看到擴(kuò)散區(qū)的實(shí)際分布情況,而生產(chǎn)大型集成電路就更是如此。目前,臺(tái)式電鏡SEM在半導(dǎo)體中的應(yīng)用已經(jīng)深入到許多方面。
  硅片表面站污常常是影響微電子器件生產(chǎn)質(zhì)量的嚴(yán)重問題。臺(tái)式掃描電鏡可以檢查和鑒定站污的種類、來源,以清除站污,如果配備X射線能譜儀,在觀察形態(tài)的同時(shí),可以分析這些站污物的主要元素成分。用臺(tái)式掃描電鏡還可以檢查硅片表面殘留的涂層或均勻薄膜也能顯示其異質(zhì)的結(jié)構(gòu)。在器件加工中,臺(tái)式掃描電鏡可以檢查金屬化的質(zhì)量,如Si02、PSG、PBSG等鈍化層臺(tái)階的角度。臺(tái)階上金屬化的形態(tài)關(guān)系到器件的成品率和可靠性,因此國內(nèi)外早已制定了掃描電鏡檢查金屬化的標(biāo)準(zhǔn)并作為例行抽驗(yàn)項(xiàng)目。

聯(lián)系我們

北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司 公司地址:北京石景山中海大廈CD座420室   技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)
  • 聯(lián)系人:銷售部
  • 郵箱:18611639868@163.com

掃一掃 更多精彩

微信二維碼

網(wǎng)站二維碼

国产精品成人第一区二区三区| 国产欧美日韩丝袜高跟鞋| 人妻少妇伦在线无码| 国产亚洲精品久久久久久小舞| 色综合色综合久久综合频道88| 国产乱人伦中文无无码视频试看| 成人欧美一区二区三区1314| 日久精品不卡一区二区| 国产a级三级三级三级| 亚洲AV无码专区色爱天堂| 麻豆av一区二区三区久久| 国产GV猛男GV无码男同网站| 国产白丝jk捆绑束缚调教视频| 日韩精品无码一区二区三区| 免费无码黄十八禁网站在线观看| 在线视频国产欧美另类| 欧美日韩一区二区| 不卡无在线一区二区三区观| 欧美男男gaygay巨大粗长肥| 久久婷五月丁香色啪网| 国产50部艳色禁片无码| 麻豆熟妇人妻XXXXXX| 国产精品沙发午睡系列| 亚洲日韩VA无码中文字幕| 欧美大浪妇猛交饥渴大叫| 苍井空亚洲精品aa片在线播放| 精品久久久久中文字幕一区| 人妻夜夜添夜夜无码av茄子视频| 亚洲精品无码久久一线| 免费播放一区二区三区| 日日狠狠久久8888偷偷色| 97精品国产一区二区三区| 人善交videos欧美| 精品国产乱码一区二区三区| 国自产拍偷拍精品啪啪模特| 成人精品视频一区二区三区尤物| 久久露脸国产精品ww蜜芽tv| 无码精品人妻一区二区三区影院| 亚洲av无码之国产精品| 日本一区二区三区免费视频| 亚洲国产av一区二区三区四区|